簡(jiǎn)要描述:PARKER疊加式溢流閥技術(shù)參數(shù)SCLTSD-520-10-0517系列閥提供了一個(gè)流動(dòng)性,積極關(guān)閉了純度流體關(guān)閉系統(tǒng)。 這1 / 2"和3 / 8"彈簧式隔膜閥提供手動(dòng)和氣動(dòng)從真空到3000 PSIG中的壓力范圍應(yīng)用提供的泄漏完整性。3000 PSIG的手動(dòng)和氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)風(fēng)格。Parker Hannifin公司的Veriflo部介紹,在使用800系列
PARKER疊加式溢流閥技術(shù)參數(shù)SCLTSD-520-10-0517
流量845和855有許多945之944系列和955系列閥門功能,
其中包括在一個(gè)緊湊的設(shè)備流量。
Parker的800系列隔膜閥均是從“VeriClean™",
Veriflo的低硫純度的316L不銹鋼,提了電解拋光,焊接和耐腐蝕性。
功能齊全的真空條件下。
的大Cv值低蒸氣如WF6和氯化氣體壓力氣體,如CI2和BCI3。
95OPLP•流量隔膜閥
Parker Hannifin公司的Veriflo司介紹了955氣動(dòng)隔膜閥。
“VeriClean"低硫純度316不銹鋼™,提了電解拋光,焊接和耐腐蝕性。
閥門太陽能和半導(dǎo)體應(yīng)用域。這種閥門系列具有現(xiàn)有閥門的功能很多,但以較低的價(jià)格點(diǎn)。
830擁有的930系列閥門的許多功能。為手動(dòng)閥Z大
工作壓力為300 PSIG中。此外,830提供了一個(gè)LP(125 psig)
和新MP(300 psig)的空氣驅(qū)動(dòng)版本。
膜片彈簧式設(shè)計(jì)。
955Y•純度,流動(dòng)性流形閥
Parker Hannifin公司的Veriflo部介紹955Y。該955Y
是一個(gè)自定義設(shè)計(jì)的純度,流量隔膜閥多方面的,設(shè)計(jì),
以滿足半導(dǎo)體制造商的OEM工具,并指出了具體要求,對(duì)使用的天然氣運(yùn)輸系統(tǒng)。
955 Y是一個(gè)Veriflo經(jīng)過驗(yàn)證的超純度,低量元件
內(nèi)部復(fù)雜的設(shè)計(jì)。節(jié)省空間和減少焊接,使過程控制和955Y的系統(tǒng)。
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